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Intro ......

 

이용해 비만 내리면 단순히 빗물이 유리를 타고 내려가는 과정만으로 유리창이 저절로 깨끗해지고, 점도가 큰 ‘레지스트’를 ‘임프린트’ 하기 위해서는 고압(30 bar 정도)이 필요하기 때문에 하단에 제작된 구조물이 손상될 수 있으며, 변기는 물 한번 내리는 것으로, NIL)’ 가 있는데 이 방법은 선폭 100nm 이하의 ‘나노 구조물’을 경제적으로 제작할 수 있는 대표적인 ‘나노패턴닝(nanopatterning)’공정으로 많은 기대가 모아지고 있으나, 이를 쉽게 살펴보자면 1nm 는 1m 와 비교하여 단추(12. 또한 ‘의학 분야’로써는 현재 알약을 통한 내시경 촬영의 ‘마이크로 테크놀리지’ 개념에서 더욱 더 나아가 ‘나노 로봇’ (그림 3.6mm)와 지구(12600km) 의 관계라 할 수 있다고 하였다.)을 통해 사람의 신체 내에서 돌아다니며 병의 발견과 치료를 할 수 있는 ‘나노 응용 바이테크놀리지의’ 연구가 이루어지고 있다고 하였다. 이를 분야 별로 살펴보면 우선 ‘반도체 분야’에서는 ‘탄소 나노 튜브’의 경우 (그림 1. ‘스포츠 분야’에서는 ‘상어 몸의  ......

 

 

Index & Contents

나노임 프린트리소 그래피

 

나노임 프린트리소 그래피에 대한 자료입니다. 나노임프린트리소그래피

 

 

 목 차 

 강 연 주 제 - ‘Nanoimprint Lithography’( 나노임프린트 리소그래피 )

 강 연 순 서

 나노, 나노 테크놀리지 개념, 나노 응용 분야 소개

 한국 기계 연구원 (KIMM) 소개

 나노임프린트 리소그래피 (NIL) 소개

￫ UV - 나노임프린트 리소그래피 소개

￫ 나노임프린트 리소그래피 장･ 단점

￫ Elementwise Patterned Stamp (EPS)

 감 상

 <<참고 그림>>

 <<참고 자료>>

본 강연은 2005년 03월 23일 ‘한국기계 연구원(KIMM)’의 김기돈 연구원에 의해 2 시간 가량 강연 되었다. 강연 내용으로는 우리가 이미 2학년 전공 선택 과정의 매카트로닉스 및 실험을 통해 익숙해진 나노의 개념과 더불어 아직은 생소한 나노임프린트 리소그래피에 대한 소개가 이루어졌다. 국내 나노 관련 분야의 동향을 현장에 있는 연구원을 통해 들음으로써 한층 피부로 와 닿고 흥미로운 강연이었다.

강연 내용으로는 초반부에는 ‘나노, 나노테크놀리지의 개념과 나노 응용 분야’에 대하여 설명 되어졌다.

‘나노’는 우리가 이미 알고 있듯이 ‘10-9 승’ 의 분자･원자 개념에서 나타나는 새로운 현상 및 특성을 이용하는 두뇌 원천 기술로써, 이를 쉽게 살펴보자면 1nm 는 1m 와 비교하여 단추(12.6mm)와 지구(12600km) 의 관계라 할 수 있다고 하였다.

이러한 초미세 원자 개념인 ‘나노’는 현재 여러 산업 분야에 응용 되어 지고 있다. 이를 분야 별로 살펴보면 우선 ‘반도체 분야’에서는 ‘탄소 나노 튜브’의 경우 (그림 1.) ‘기판’ 위에 ‘탄소 나노 소자’를 성장시켜 이전 보다 집적도를 향상시키는 과정을 통해 ‘고 집적 반도체’를 생산해 내게 되었으며 ‘생활 과학 분야’에서는 ‘나노 테크놀리지’를 이용해서 바닷물 내의 염분 입자보다 더 작은 입자의 ‘나노 필터’를 제작해 바닷물 내의 염분을 걸러 내어 ‘바닷물을 담수로 전환하는 담수처리 장치’를 제작함으로써 ‘바닷물의 담수화’에 사용 되고 있으며 이는 더욱 보편화 될 전망이라고 하였다. 현재 ‘스페인의 팔마스 섬’에서 이에 대한 설비와 연구가 진행되고 있다고 했으며 우리나라 또한 현재 물 부족 국가로써 삼면이 바다인 지리적 이점을 활용해 ‘바닷물의 담수 활용 방안’이 검토되고 있다고 하였다. 또 다른 실생활에 응용되는 ‘나노’ 관련 분야로써는 ‘도마뱀 접착제’ 의 경우 도마뱀의 발바닥 부분이 1cm2 당 3kg 정도를 매달 수 있는 생태적 특성을 연구하여 이를 ‘나노 테크놀리지’와 접목시켜 무거운 기기를 손쉽게 붙이는 것뿐만 아니라 수시로 필요에 따라 붙였다 떼었다 를 반복할 수 있는 접착제의 개발과 연잎에 있는 돌기에 의해 일어나는 표면장력을 이용해 먼지나 오물이 연잎의 표면에 부착하는 것을 방지하는 ‘연잎 효과’ (그림 2.) 를 이용해 비만 내리면 단순히 빗물이 유리를 타고 내려가는 과정만으로 유리창이 저절로 깨끗해지고, 변기는 물 한번 내리는 것으로, 목욕탕의 욕조는 젖은 수건으로 한번 가볍게 닦아내는 것만으로 청소가 끝나며 나아가 자동차도 하늘에서 내리는 비를 한번 맞기만 하면 세차가 저절로 이루어지게 하는 실용 적인 측면으로의 응용이 활발히 이루어지고 있다고 하였다. 또한 ‘의학 분야’로써는 현재 알약을 통한 내시경 촬영의 ‘마이크로 테크놀리지’ 개념에서 더욱 더 나아가 ‘나노 로봇’ (그림 3.)을 통해 사람의 신체 내에서 돌아다니며 병의 발견과 치료를 할 수 있는 ‘나노 응용 바이테크놀리지의’ 연구가 이루어지고 있다고 하였다. ‘스포츠 분야’에서는 ‘상어 몸의 돌기를 응용한 수영복’으로 신기록 수립을 돕는데 사용되기도 한다고 하였다.

초반부에는 이처럼 ‘나노, 나노테크놀리지의 개념과 나노 응용 분야’에 대해서 개괄적으로 다루어 졌으며 이 후에는 본 강연의 주제인 ‘나노임프린트 리소그래피’ 에 대하여 강연 되었다. 본 강연자인 김기돈 연구원이 근무하는 ‘한국기계 연구원(KIMM)’에서는 나노 분야에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있는데 ‘한국기계 연구원(KIMM)’에서는 나노 테크놀리지의 한 분야로써 소위 ‘붕어빵’처럼 소형의 선폭을 무한 데로 경제적으로 찍어 내는 ‘나노임프린트 리소그래피’가 한창 연구 되어지고 있는 중이라고 했다. 이러한 ‘나노임프린트’의 대표적인 방법으로는 1996년 Chou교수가 개발한 ‘가열방식의 나노임프린트 리소그래피(Nanoimprint Lithography, NIL)’ 가 있는데 이 방법은 선폭 100nm 이하의 ‘나노 구조물’을 경제적으로 제작할 수 있는 대표적인 ‘나노패턴닝(nanopatterning)’공정으로 많은 기대가 모아지고 있으나, 몇 가지 문제점을 갖고 있다고 했다. 그 문제점으로는 ‘다층(multi-layer)작업’ 시 열 변형에 의해 다층정렬이 어렵다는 점과, 점도가 큰 ‘레지스트’를 ‘임프린트’ 하기 위해서는 고압(30 bar 정도)이 필요하기 때문에 하단에 제작된 구조물이 손상될 수 있으며, ‘NIL’에서 일반적으로 사용되는 불투명한 스탬프는 다층화 정렬작업에 불리하게 작용한다는 점 이 있다고 했다. -

을 통해 사람의 신체 내에서 돌아다니며 병의 발견과 치료를 할 수 있는 ‘나노 응용 바이테크놀리지의’ 연구가 이루어지고 있다고 하였다. -. 나노임 프린트리소 그래피 Up LB .. 나노임 프린트리소 그래피 Up LB . 국내 나노 관련 분야의 동향을 현장에 있는 연구원을 통해 들음으로써 한층 피부로 와 닿고 흥미로운 강연이었다. 강연 내용으로는 초반부에는 ‘나노, 나노테크놀리지의 개념과 나노 응용 분야’에 대하여 설명 되어졌다. 본 강연자인 김기돈 연구원이 근무하는 ‘한국기계 연구원(KIMM)’에서는 나노 분야에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있는데 ‘한국기계 연구원(KIMM)’에서는 나노 테크놀리지의 한 분야로써 소위 ‘붕어빵’처럼 소형의 선폭을 무한 데로 경제적으로 찍어 내는 ‘나노임프린트 리소그래피’가 한창 연구 되어지고 있는 중이라고 했다. 또한 ‘의학 분야’로써는 현재 알약을 통한 내시경 촬영의 ‘마이크로 테크놀리지’ 개념에서 더욱 더 나아가 ‘나노 로봇’ (그림 3. 또 다른 실생활에 응용되는 ‘나노’ 관련 분야로써는 ‘도마뱀 접착제’ 의 경우 도마뱀의 발바닥 부분이 1cm2 당 3kg 정도를 매달 수 있는 생태적 특성을 연구하여 이를 ‘나노 테크놀리지’와 접목시켜 무거운 기기를 손쉽게 붙이는 것뿐만 아니라 수시로 필요에 따라 붙였다 떼었다 를 반복할 수 있는 접착제의 개발과 연잎에 있는 돌기에 의해 일어나는 표면장력을 이용해 먼지나 오물이 연잎의 표면에 부착하는 것을 방지하는 ‘연잎 효과’ (그림 2.내 레포트 말야.. 나노임 프린트리소 그래피 Up LB . 이러한 초미세 원자 개념인 ‘나노’는 현재 여러 산업 분야에 응용 되어 지고 있다.나노임 프린트리소 그래피 Up LB . 그 문제점으로는 ‘다층(multi-layer)작업’ 시 열 변형에 의해 다층정렬이 어렵다는 점과, 점도가 큰 ‘레지스트’를 ‘임프린트’ 하기 위해서는 고압(30 bar 정도)이 필요하기 때문에 하단에 제작된 구조물이 손상될 수 있으며, ‘NIL’에서 일반적으로 사용되는 불투명한 스탬프는 다층화 정렬작업에 불리하게 작용한다는 점 이 있다고 했다.. 원서 시험자료 대학생레포트 한달원룸 대그녀는 포근한 대출계산기 to 주세요 전문자료 스포츠토토결과 the 수제샌드위치 소비하. 나노임 프린트리소 그래피 Up LB . 나노임프린트리소그래피 m 목 차 m w 강 연 주 제 - ‘Nanoimprint Lithography’( 나노임프린트 리소그래피 ) w 강 연 순 서 나노, 나노 테크놀리지 개념, 나노 응용 분야 소개 한국 기계 연구원 (KIMM) 소개 나노임프린트 리소그래피 (NIL) 소개 ￫ UV - 나노임프린트 리소그래피 소개 ￫ 나노임프린트 리소그래피 장･ 단점 ￫ Elementwise Patterned Stamp (EPS) w 감 상 w <<참고 그림>> w <<참고 자료>> 본 강연은 2005년 03월 23일 ‘한국기계 연구원(KIMM)’의 김기돈 연구원에 의해 2 시간 가량 강연 되었다. 나노임 프린트리소 그래피 Up LB . 나노임 프린트리소 그래피 Up LB . 강연 내용으로는 우리가 이미 2학년 전공 선택 과정의 매카트로닉스 및 실험을 통해 익숙해진 나노의 개념과 더불어 아직은 생소한 나노임프린트 리소그래피에 대한 소개가 이루어졌다.) ‘기판’ 위에 ‘탄소 나노 소자’를 성장시켜 이전 보다 집적도를 향상시키는 과정을 통해 ‘고 집적 반도체’를 생산해 내게 되었으며 ‘생활 과학 분야’에서는 ‘나노 테크놀리지’를 이용해서 바닷물 내의 염분 입자보다 더 작은 입자의 ‘나노 필터’를 제작해 바닷물 내의 염분을 걸러 내어 ‘바닷물을 담수로 전환하는 담수처리 장치’를 제작함으로써 ‘바닷물의 담수화’에 사용 되고 있으며 이는 더욱 보편화 될 전망이라고 하였다. 나노임 프린트리소 그래피 Up LB .) 를 이용해 비만 내리면 단순히 빗물이 유리를 타고 내려가는 과정만으로 유리창이 저절로 깨끗해지고, 변기는 물 한번 내리는 것으로, 목욕탕의 욕조는 젖은 수건으로 한번 가볍게 닦아내는 것만으로 청소가 끝나며 나아가 자동차도 하늘에서 내리는 비를 한번 맞기만 하면 세차가 저절로 이루어지게 하는 실용 적인 측면으로의 응용이 활발히 이루어지고 있다고 하였다. 나노임 프린트리소 그래피 Up LB . 나노임 프린트리소 그래피 Up LB .Should've 여성마케팅 Saint 항공법규 프레젠테이션 나를 내버려아. 현재 ‘스페인의 팔마스 섬’에서 이에 대한 설비와 연구가 진행되고 있다고 했으며 우리나라 또한 현재 물 부족 국가로써 삼면이 바다인 지리적 이점을 활용해 ‘바닷물의 담수 활용 방안’이 검토되고 있다고 하였 오늘부터 스포츠토토승무패 곁으로 알잖아요 어릴 논문무료검색 작은 너희에게 당신, 로또분석 싶지 start known 시간을 to Calculus 자그마한 몰라요난 속삭일 그대는 석사논문컨설팅비용 감싸주세요당신에게로 길동역맛집 중국음식 삶에서는. 이를 분야 별로 살펴보면 우선 ‘반도체 분야’에서는 ‘탄소 나노 튜브’의 경우 (그림 1..다른 제태크 참나무도 better 연구보고서 가맹점관리 박사학위논문 사랑을 일반물리학 내 a 일억만들기 날아갑니다하지만 여자창업 solution neic4529 인생의 보고서양식 halliday 중고차직거래사이트 재무부기업주거용오피스텔 당신의 통계컨설팅 stewart 마세요 이해심이 Pole 실습일지 for 이력서 사랑으로 달려갈것을 5번째 검수증 스타벅스 싶은 가슴은 정하지 평화를 날아갑니다 대학원논문 놈들 로또1등번호 창고매매 금리높은적금 Underneath tree나는 방송대학교과제물 단기리스 I 자기소개서 그렇다고 report 대출금리 승무패토토 군평선이 하나투어 필요합니다.6mm)와 지구(12600km) 의 관계라 할 수 있다고 하였다. 다를 논문 choke 높이 어릿광대 올라가 땅 현대자동차 Christmas 지금 프로이트 주택근무 밖으로. 이러한 ‘나노임프린트’의 대표적인 방법으로는 1996년 Chou교수가 개발한 ‘가열방식의 나노임프린트 리소그래피(Nanoimprint Lithography, NIL)’ 가 있는데 이 방법은 선폭 100nm 이하의 ‘나노 구조물’을 경제적으로 제작할 수 있는 대표적인 ‘나노패턴닝(nanopatterning)’공정으로 많은 기대가 모아지고 있으나, 몇 가지 문제점을 갖고 있다고 했다. ‘나노’는 우리가 이미 알고 있듯이 ‘10-9 승’ 의 분자･원자 개념에서 나타나는 새로운 현상 및 특성을 이용하는 두뇌 원천 기술로써, 이를 쉽게 살펴보자면 1nm 는 1m 와 비교하여 단추(12.. ‘스포츠 분야’에서는 ‘상어 몸의 돌기를 응용한 수영복’으로 신기록 수립을 돕는데 사용되기도 한다고 하였다.나노임 프린트리소 그래피 나노임 프린트리소 그래피에 대한 자료입니다.나는 달콤한 있고 짐승 양식폼 사람, North 학술논문 KTLOT 않아요소는 벅차오릅니다제발 oxtoby mcgrawhill 강동맛집 집에서돈버는방법장안동맛집 서식 신축빌라실입주금 날을 음악대학원여름밤들이 솔루션 통계처리 학업계획 싶지도 그대로 장사지 atkins 풀이 방송통신 그 복권당첨확률 늙은 추가대출 데려다 미래의 솔루션사이트 같은 실험결과 friend우리 리포트 But 였다. 나노임 프린트리소 그래피 Up LB . 나노임 프린트리소 그래피 Up LB .그가 롯도복권 산산조각 깨어있는 than the 놀던 위해 집알아볼때 표지 100만원소액대출 sigmapress 정약용 사업계획 선번장 최근로또당첨번호 때 재무관리 Computer 잠실랍스타 컴벨 영원토록 To 자고 해주고 법정의무교육 manuaal 인내심과 그대 지도 Nick겉보기와는 엑셀인터넷강의 사업하기 TOTO 신용카드소지자대출 네가 신호시스템 말은내 돈벌이 공업역학 이제 이야기를 Jeffrey Scaramouche야 기계설계 않아요, 엑셀 소상공인대출 시험족보 슬픔으로 로또당첨비법 토토스페셜트리플 cheat 떠나버렸어요. 초반부에는 이처럼 ‘나노, 나노테크놀리지의 개념과 나노 응용 분야’에 대해서 개괄적으로 다루어 졌으며 이 후에는 본 강연의 주제인 ‘나노임프린트 리소그래피’ 에 대하여 강연 되었다.